干式液氦溫區(qū)探針臺
干式液氦溫區(qū)探針臺是卓聚專為樣品的非破壞檢測和真空潔凈而設計的，測試靈活，廣泛應用于直流（DC），射頻（RF）,MEMS, 納米電子，超導性，納米電路的光電特性，量子點和量子線，非破壞性測試等。利用住友F-50連續(xù)流型、變溫制冷系統(tǒng)，低溫可達6k，同時配備自動溫度控制器（穩(wěn)定度為0.05 K)，帶有觸控界面和LabView驅動，工作溫度范圍在6 K to 400 K 。另加防輻射窗口可截斷樣品更大的熱輻射，可測量更大的尺寸樣品。
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干式液氦溫區(qū)探針臺 產品優(yōu)勢
1.真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa。留有2個用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）；
2. 探針控制：標配6個探針臂。調節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調節(jié)精度優(yōu)于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；
3. 顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：1.4X~9X（使用2X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字攝像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機械調焦和光學調焦；
4. 變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：30K~400K。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.01K；
5. 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖；
6. 系統(tǒng)直流漏電低于1pA；
7. 產品含進口分子泵機組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。
干式液氦溫區(qū)探針臺產品參數(shù)
| 型號 | LTZ-6H-06 |
| 外形 | 838*800*1355 |
| 系統(tǒng)功率 | 2.5KW |
| 電壓 | 380V三線交流 |
| X-Y軸行程定位精度 | ±0.01mm |
| 探針調節(jié)精度 | ±0.01mm |
| 腔體真空度 | 1.0*10^-6pa |
| 重量 | 200kg |
| 測試直徑 | 6/8/12寸 |
| 探針軸行程 | 110mm |
| 探針XYZ行程 | 15mm |
| 制冷方式 | 干式液氦制冷 |
| X-Y軸額定速度 | 手動調節(jié) |
| 腔體直徑 | 245mm |
| 探針臂數(shù)量 | 6 |
| 冷頭功率 | 1.5KW |
| 溫度下限 | 3.5K |
| 探針臂 | 每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針，樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜 |
| 顯微鏡倍率 | 4X~9X（使用1X附加物鏡時） |
| 地腳 | 底部塑膠減震地腳 |
| 探針頻率 | 26GHz—100GHz（可選） |
以上就是東莞市卓聚科技有限公司提供的干式液氦溫區(qū)探針臺的介紹，
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